微型高灵敏压力传感器
- 专利权人:
- 奥普森斯公司
- 发明人:
- 克劳德·贝尔维尔,塞巴斯蒂安·拉兰切特,尼古拉斯·莱萨德
- 申请号：
- CN201280022543.2
- 公开号：
- CN103534568A
- 申请日:
- 2012.03.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 公开了一种微型光纤压力传感器设计，其中围绕特定偏压压力的灵敏度被优化。在一实施例中，该压力传感器是法布里－珀罗(FP)传感器，其包括基板；以及安装在该基板上的膜片。该膜片具有中心并包括：包括第一材料的第一层；以及包括第二材料的第二层。该第二层形成圆点或环。该圆点或环安装在该第一层上并以该膜片的中心定中心。该第二材料包括内部预应力，以致使膜片的中心（在圆点的情况下）或者围绕膜片中心的周边区域（在环的情况下）在放松内部预应力时从基片拱起。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
