一种电沉积聚酰胺酸制备低介电聚酰亚胺薄膜的方法
- 专利权人:
- 哈尔滨工业大学
- 发明人:
- 李垚,刘俊凯,赵九蓬
- 申请号：
- CN201410232298.9
- 公开号：
- CN103980528B
- 申请日:
- 2014.05.29
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 李涛`张东山
- 摘要：
- 本发明公开了一种电沉积聚酰胺酸制备低介电聚酰亚胺薄膜的方法。本发明的方法主要包括以下步骤：模板制备；聚酰胺酸乳液制备；电沉积聚酰胺薄膜；去除模板，表面涂覆聚酰胺酸溶液并加热固化得到致密的聚酰胺薄膜，梯度升温亚胺化制备聚酰亚胺薄膜。本发明的方法整个工艺过程安全，无需昂贵设备，且操作流程简单，制备的聚酰亚胺薄膜表面平整致密，具有超低介电常数，气孔三维有序排布，且孔径尺寸可控，具有良好的力学性能，在电工、电子信息、军事、航空航天等方面具有广阔的应用前景。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
