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磨片机砂浆流量自动调节装置及其方法
- 专利权人:
- 天津市环欧半导体材料技术有限公司
- 发明人:
- 靳立辉,刘铮,李海龙,王生远,王岩,耿辉,高树良
- 申请号:
- CN201010607210.9
- 公开号:
- CN102023649A
- 申请日:
- 2010.12.27
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2011
- 代理人:
- 莫琪
- 摘要:
- 本发明涉及一种磨片机砂浆流量自动调节装置及其方法,砂浆流量自动调节装置,其特征在于:包括磨料厚度测试部分ALC、可编程控制器PLC控制部分、控制面板及蠕动泵转速控制部分,通过测厚仪ALC发出的TTL信号,控制PLC输出,通过控制中间继电器的动作来切换蠕动泵转速,当磨料厚度到达目标值时,测厚仪ALC发出一个TTL信号,PLC接收到该信号后,停止主机转动,研磨结束,其优点是,有效的解决磨料表面的高质量和高成本之间的矛盾,在研磨前期,砂浆流量满足正常的研磨速度即可,没有必要考虑表面质量,当到达研磨后期时,加大砂流量,对磨料的表面进行充分修研,这样就可以在不增加砂浆成本的同时提高了磨料的表面质量,进而提高了产品的竞争力。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/