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磨片机砂浆流量自动调节装置
- 专利权人:
- 天津市环欧半导体材料技术有限公司
- 发明人:
- 靳立辉,刘铮,李海龙,王生远,王岩,耿辉
- 申请号：
- CN201020682073.0
- 公开号：
- CN202037542U
- 申请日:
- 2010.12.27
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2011
- 代理人:
- 莫琪
- 摘要：
- 本实用新型涉及一种磨片机砂浆流量自动调节装置，砂浆流量自动调节装置，其特征在于：包括磨料厚度测试部分ALC、可编程控制器PLC控制部分、控制面板及蠕动泵转速控制部分，通过测厚仪ALC发出的TTL信号，控制PLC输出，通过控制中间继电器的动作来切换蠕动泵转速，当磨料厚度到达目标值时，测厚仪ALC发出一个TTL信号，PLC接收到该信号后，停止主机转动，研磨结束，其优点是，有效的解决磨料表面的高质量和高成本之间的矛盾，在研磨前期，砂浆流量满足正常的研磨速度即可，没有必要考虑表面质量，当到达研磨后期时，加大砂流量，对磨料的表面进行充分修研，这样就可以在不增加砂浆成本的同时提高了磨料的表面质量，进而提高了产品的竞争力。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
