PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray sensor capable of efficiently collecting charges generated by incidence of X-rays and improving the time resolution of X-ray sensing.SOLUTION: In an X-ray sensor 10 for detecting X-rays incident on a semiconductor substrate 12, including a semiconductor substrate 12 in which a plurality of pixels 13 having a plurality of photodiodes 11 are arranged in a plane, each of the photodiodes 11 includes: a trench portion 15 provided along an imaginary plane F that is perpendicular to the semiconductor substrate 12 and arranged in the incident direction of the X-rays and forms a linear opening 16 on one surface 14 side of the semiconductor substrate 12 and a depletion layer 20 provided around the trench portion 15.SELECTED DRAWING: Figure 1COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】X線の入射によって生成される電荷を効率的に収集して、X線センシングの時間分解能を向上させることが可能なX線センサーを提供する。【解決手段】複数のフォトダイオード11を有する画素13が複数、平面状に並べられた半導体基板12を備え、半導体基板12に入射するX線を検出するX線センサー10において、各フォトダイオード11は、半導体基板12に垂直でX線の入射方向に配した仮想平面Fに沿って設けられ、半導体基板12の一面14側に直線状の開口16を形成するトレンチ部15と、トレンチ部15の周囲に設けられた空乏層20とを有する。【選択図】図1
