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Apparatus for movable weight-cancelling suspension of focusing objective lens of laser system
专利权人:
ウェイブライト ゲーエムベーハー
发明人:
ロブル ゲルハルト
申请号:
JP2012555297
公开号:
JP2013521024A
申请日:
2010.03.03
申请国别(地区):
JP
年份:
2013
代理人:
摘要:
An apparatus for the weight-compensating movable suspension of a focussing objective (12) of a laser device (10) comprises a force generating arrangement for generating a counterforce component (G) counteracting the weight force of the focussing objective (12), a transmitting arrangement that transmits the counterforce component (G) to the focussing objective (12) and as an up/down compensation movement of the focussing objective, and a guide arrangement for movably guiding the focussing objective, in such a way that during an up/down compensation movement of the focussing objective (12) an optical axis (O) thereof maintains at least its spatial orientation and preferably its spatial position.レーザシステム(10)の合焦対物レンズ(12)の可動な重量相殺サスペンションのための装置であって、前記合焦対物レンズ(12)の重量を相殺する反力成分(G)を発生するための力発生装置と、前記合焦対物レンズ(12)の上下方向への補償動作のときに、前記反力成分(G)を前記合焦対物レンズ(12)に伝達する伝達装置と、前記合焦対物レンズの上下方向への補償動作を行う際に、前記合焦対物レンズの光軸(O)が、少なくとも空間におけるその向き、及び好ましくは空間におけるその位置を維持するように、前記合焦対物レンズを移動誘導するための誘導装置とを具備する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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