The sterilization apparatus includes a first semiconductor light emitting device that emits light having a maximum intensity at a wavelength of 100 nm to 300 nm, and a substrate that is electrically connected to the first semiconductor light emitting device. The substrate may include a first circuit portion electrically connected to the first semiconductor light emitting device. The variable voltage may change in magnitude with time. The variable voltage may include a first time when the voltage is applied and a second time when the voltage is not applied.살균 장치는 100nm 내지 300nm의 파장에서 최대 세기를 갖는 광을 방출하는 제1 반도체 발광 소자와, 제1 반도체 발광 소자와 전기적으로 연결되는 기판을 포함한다. 기판은 제1 반도체 발광 소자와 전기적으로 연결된 제1 회로부와를 포함할 수 있다. 가변 전압은 시간에 따라 전압의 크기가 변화할 수 있다. 상기 가변 전압은 전압이 인가되는 제1 시간 및 전압이 인가되지 않는 제2 시간을 포함할 수 있다.
