A method of making a delivery device for a therapeutic agent, drug or vaccine is disclosed. The method includes the steps of providing a flat panel wafer, forming a plurality of reservoirs, each reservoir defining a cavity in the flat panel wafer, and attaching a cover layer across the plurality of reservoirs. Including. The method also provides filling a plurality of reservoirs with at least one of a therapeutic agent, a drug, and a vaccine to form a plurality of filled reservoirs, and providing a housing portion adjacent to each of the plurality of filled reservoirs. Forming a composite layer. The method also includes dividing the composite layer into a plurality of delivery devices, each delivery device including a reservoir. The delivery device may be suitable for use with self-injection.治療薬、薬物またはワクチンのための送達デバイスを作製する方法が開示されている。この方法は、フラットパネルウエハを準備するステップと、複数のリザーバを形成するステップであって、各リザーバがフラットパネルウエハ内にキャビティを画定する、ステップと、カバー層を複数のリザーバ全体に取り付けるステップとを含む。この方法はまた、治療薬、薬物、及びワクチンの少なくとも一つで複数のリザーバを充填して複数の充填済みリザーバを形成するステップと、複数の充填済みリザーバのそれぞれに隣接してハウジング部を提供して複合層を形成するステップとを含む。この方法はまた、各送達デバイスがリザーバを含む複数の送達デバイスに複合層を分割するステップを有する。送達デバイスは、自己注射の使用に好適であり得る。