樹脂硬化膜パターンの形成方法及び樹脂硬化膜パターン付き基材
- 专利权人:
- 日立化成株式会社
- 发明人:
- 海老原 雅彦
- 申请号：
- JP20150200249
- 公开号：
- JP2017072756(A)
- 申请日:
- 2015.10.08
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】基材上に、薄膜で、充分な解像度を有する樹脂硬化膜パターンを形成することができる樹脂硬化膜パターンの形成方法を提供すること、及び薄膜かつ充分な解像度を有する樹脂硬化膜パターンを備える樹脂硬化膜パターン付き基材を提供すること。【解決手段】 基材上に設けられた感光性樹脂組成物を含む感光層に対して酸素存在下でパターン状に活性光線を照射する工程と、露光後の上記感光層を現像し、上記感光層よりも薄い厚みを有する樹脂硬化膜パターンを形成する工程と、を含む、樹脂硬化膜パターンの形成方法。【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
