PROBLEM TO BE SOLVED: To construct an ultrasonic vibrator that can generate sufficient power in transmission, can obtain sufficient sensitivity in reception and requires no DC bias.SOLUTION: An ultrasonic vibrator includes a plurality of cells 14. Each cell 14 is provided with a vibration film 22 above a cavity 20, and the vibration film 22 includes a signal electrode layer 24 and a ground electrode layer 26. A main body of the vibration film 22 includes a piezoelectric material, and two electrode layers 24, 26 detect a voltage generated by piezoelectric effect thereof. A magnet 30 which moves together with the vibration film 22 is provided above the cavity 20, and an electromagnet chip 36 is provided therebelow. The electromagnet chip 36 generates an alternating magnetic field, so that attraction force and repulsive force are periodically generated at the magnet 30. Consequently, the vibration film 22 ultrasonically vibrates.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】送信時に十分なパワーを発生でき、且つ、受信時に十分な感度を得られる超音波振動子を構成する。また、DCバイアスを必要としない超音波振動子を構成する。【解決手段】超音波振動子は複数のセル14を有する。各セル14において、キャビティ20の上方には振動膜22が設けられ、それはシグナル電極層24及びグランド電極層26を備えている。振動膜22の本体は圧電材料を含み、そこでの圧電効果により生じた電圧が2つの電極層24,26により検知される。キャビティ20の上方には振動膜22と共に運動するマグネット30が設けられ、その下方には電磁石チップ36が設けられている。電磁石チップ36が交番磁界を生じさせ、これによりマグネット30に吸着力及び反発力が周期的に生じる。その結果、振動膜22が超音波振動する。【選択図】図2
