PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam transport device easily, quickly and accurately adjustable of the beam size.SOLUTION: Change of the beam size (sensitivity) measured by a profile monitor 31 set in an irradiation device 30 relative to the change of the excitation amount of quadrupolar electromagnets 21 within the beam transport device 20 is measured in advance, and a quadrupolar electromagnet 21 for correcting the difference between a desired value of the beam size inputted in an adjuster terminal 70 by an adjuster and a measured value in the profile monitor 31 is selected based on the sensitivity. The excitation amount of the selected quadrupolar electromagnet 21 is corrected to approximate the beam size to the desired value.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】ビームサイズを簡単かつ素早く高精度に調整できる荷電粒子ビーム輸送装置を提供する。【解決手段】ビーム輸送装置20内の四極電磁石21の励磁量の変化に対する照射装置30に設置されたプロファイルモニタ31で測定されるビームサイズの変化(感度)を予め測定し、その感度から、調整者が調整者用端末70で入力したビームサイズの所望値とプロファイルモニタ31での測定値の差分を補正する四極電磁石21を選択し、ビームサイズを所望値に近づけるように選択した四極電磁石21の励磁量を補正することによって、上記課題を解決することができる。【選択図】 図1
