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DLC膜及びDLC膜被膜物品
专利权人:
国立大学法人豊橋技術科学大学;伊藤光学工業株式会社;株式会社オンワード技研
发明人:
滝川 浩史,瀧 真,長谷川 祐史,神谷 雅男,加藤 裕久
申请号:
JP20160540727
公开号:
JPWO2016021671(A1)
申请日:
2015.08.06
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
本発明の目的は、対象物に形成されるDLC膜の耐熱性を向上させると共に、水素フリーで高硬度のDLC膜を提供することである。本発明は、水素と炭素以外の他元素を添加したDLC膜であり、波長500nm〜600nmのレーザー光を用いてラマン分光スペクトルを測定したとき、グラファイト構造由来のGバンド、グラファイト構造の欠陥由来のDバンド及び波数が1000〜1200cm−1の間にピークを有するSバンドと略称する特性バンドが検出され、前記Gバンドのピーク強度と面積強度をPg、Agとし、前記Dバンドのピーク強度と面積強度をPd、Adとし、前記特性バンドのピーク強度と面積強度をPs、Asとしたとき、ピーク強度比Pd/Pg及び面積強度比Ad/Agが0.5以下であり、且つピーク強度比Ps/Pd及
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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