您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
ＤＬＣ膜及びＤＬＣ膜被膜物品
- 专利权人:
- 国立大学法人豊橋技術科学大学;伊藤光学工業株式会社;株式会社オンワード技研
- 发明人:
- 滝川 浩史,瀧 真,長谷川 祐史,神谷 雅男,加藤 裕久
- 申请号：
- JP20160540727
- 公开号：
- JPWO2016021671(A1)
- 申请日:
- 2015.08.06
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明の目的は、対象物に形成されるＤＬＣ膜の耐熱性を向上させると共に、水素フリーで高硬度のＤＬＣ膜を提供することである。本発明は、水素と炭素以外の他元素を添加したＤＬＣ膜であり、波長５００ｎｍ〜６００ｎｍのレーザー光を用いてラマン分光スペクトルを測定したとき、グラファイト構造由来のＧバンド、グラファイト構造の欠陥由来のＤバンド及び波数が１０００〜１２００ｃｍ−１の間にピークを有するＳバンドと略称する特性バンドが検出され、前記Ｇバンドのピーク強度と面積強度をＰｇ、Ａｇとし、前記Ｄバンドのピーク強度と面積強度をＰｄ、Ａｄとし、前記特性バンドのピーク強度と面積強度をＰｓ、Ａｓとしたとき、ピーク強度比Ｐｄ／Ｐｇ及び面積強度比Ａｄ／Ａｇが０．５以下であり、且つピーク強度比Ｐｓ／Ｐｄ及
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
