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DLC膜及びDLC膜被膜物品
- 专利权人:
- 国立大学法人豊橋技術科学大学;伊藤光学工業株式会社;株式会社オンワード技研
- 发明人:
- 滝川 浩史,瀧 真,長谷川 祐史,神谷 雅男,加藤 裕久
- 申请号:
- JP20160540727
- 公开号:
- JPWO2016021671(A1)
- 申请日:
- 2015.08.06
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 本発明の目的は、対象物に形成されるDLC膜の耐熱性を向上させると共に、水素フリーで高硬度のDLC膜を提供することである。本発明は、水素と炭素以外の他元素を添加したDLC膜であり、波長500nm〜600nmのレーザー光を用いてラマン分光スペクトルを測定したとき、グラファイト構造由来のGバンド、グラファイト構造の欠陥由来のDバンド及び波数が1000〜1200cm−1の間にピークを有するSバンドと略称する特性バンドが検出され、前記Gバンドのピーク強度と面積強度をPg、Agとし、前記Dバンドのピーク強度と面積強度をPd、Adとし、前記特性バンドのピーク強度と面積強度をPs、Asとしたとき、ピーク強度比Pd/Pg及び面積強度比Ad/Agが0.5以下であり、且つピーク強度比Ps/Pd及
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/