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化学センサおよび化学物質検出方法および装置
- 专利权人:
- 株式会社日立製作所
- 发明人:
- 亀代 典史,高橋 宏昌,永田 真斗,何 希倫
- 申请号：
- JP20160128640
- 公开号：
- JP2018004345(A)
- 申请日:
- 2016.06.29
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】信号増幅が不要で、かつ誤検出の起こらない化学センサを提供する。【解決手段】第１導電型の半導体基板と、半導体基板の表面に形成された第１の電極と、第１の電極と垂直方向に対向して配置される第２の電極と、第１の電極と第２の電極との間に、液体または気体が流入可能な流路と、流路内の、第１の電極と第２の電極との間の少なくとも一部の領域に配置され、所定の化学物質と結合する化学物質捕獲部とを備え、第１の電極と第２の電極との間の距離を、２ｎｍ以上、２００ｎｍ以下とし、第１の電極と第２の電極との間の誘電率の変化を検出することを特徴とする化学センサが開示される。【選択図】 図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
