SUNG, HO KUN,성호근,LEE, KEUN WOO,이근우,CHOI, JAE WON,최재원,LEE, BYUNG OU,이병오,YOON, HONG MIN,윤홍민,LEE, HEE KWAN,이희관,LEE, YONG SU,이용수,LIM, WOONG SUN,임웅선,PARK, MI LIM,박미림,PARK, BEOM DOO,박범두,KANG, HO KWAN,강호관,SUNG, HO KUNKR,LEE, KEUN WOOKR,CHOI, JAE WONKR,LEE, BYUNG OUKR,YOON, HONG MINKR,LEE, HEE KWANKR,LEE, YONG SUKR,LIM, WOONG SUNKR,PARK, MI LIMKR,PARK, BEOM DOOKR
申请号：
KR1020140063619
公开号：
KR1015647100000B1
申请日:
2014.05.27
申请国别(地区):
KR
年份:
2015
代理人:
摘要：
The present invention relates to a method for manufacturing a probe integrated with light-emitting diodes and, more specifically, to a method for manufacturing a probe capable of controlling a wavelength and a probe manufactured thereby, which comprises: a first step of preparing a substrate； a second step of forming an alignment key for forming a light-emitting diode on some areas of the substrate to form a first electrode layer； a third step of forming multiple light-emitting diodes having different emission wavelengths on the substrate based on the alignment key； a fourth step of forming a metal interconnect electrode on the substrate, which is electrically connected to the light-emitting diode； a fifth step of forming an insulating film to cover the light-emitting diode, the whole area on the substrate, and the metal interconnect electrode； a sixth step of forming a pattern on the substrate to form a probe； a seventh step of polishing or etching the substrate to reduce the thickness of the substrate； and an eighth step of separating a probe-shaped pattern from the substrate. Accordingly, multiple light-emitting diodes having different emission wavelengths are formed on a single probe (substrate) to allow a single probe to emit lights of various wavelength bands and selectively control either activation or suppressing of nerves, thereby providing very high clinical utility, reducing a unit product cost, and simplifying the process to improve the yield.본 발명은 발광 소자가 집적된 탐침의 제조방법에 있어서, 기판을 준비하는 제1단계와, 상기 기판 상의 일부 영역에 발광소자 형성을 위한 정렬키를 형성하고, 제1전극층을 형성하는 제2단계와, 상기 정렬키를 기준으로 하여 발광 파장이 다른 복수개의 발광 소자를 상기 기판 상에 형성하는 제3단계와, 상기 기판 상에 형성되며, 상기 발광 소자와 전기적으로 연결된 금속배선전극을 형성하는 제4단계와, 상기 발광 소자와, 상기 기판 상의 전 영역 및 상기 금속배선전극을 감싸도록 절연막을 형성하는 제5단계와, 상기 기판에 탐침 형성을 위한 패턴을 형성하는 제6단계와, 상기 기판의 두께를 낮추기 위해 폴리싱 또는 에칭하는 제7단계와, 상기 기판 상에서 탐침 모양의 패턴을 분리하는 제8단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 파장 제어가 가능한 탐침의 제조방법 및 이에 의해 제조된 탐침을 기술적 요지로 한다. 이에 의해, 단일의 탐침(기판) 상에 발광 파장이 다른 복수 개의 발광 소자를 형성함으로써, 한 개의 탐침으로 다양한 파장 영
