一种中空微针阵列装置及制作方法
- 专利权人:
- 成都工业学院
- 发明人:
- 孟令款,李可为
- 申请号：
- CN202010089383.X
- 公开号：
- CN111228642A
- 申请日:
- 2020.12.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种中孔微针阵列装置,可以是中心对称或非对称(侧开式)的中空微针阵列,具有高通量的头部逐渐尖锐圆滑的凸起结构,支撑垫位于背面,而流体可以从通孔中流入或流出。同时,本发明提供了一种制造微针阵列的方法,首先在衬底上形成微针阵列的初始内部通孔,通过多次交替的各向同性刻蚀和各向异性刻蚀形成顶部凸针结构;然后,再次进行各向异性刻蚀形成高深宽比的微针阵列结构;在上述衬底的背面形成具有大尺寸通孔的支撑结构,并与先前形成的内部通孔相接触,由此形成了连通的中空微针阵列装置。本发明仅利用常规光刻与刻蚀即可实现中空微针阵列的制作,制造成本低且工艺简单,适合规模量产。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
