一种空心微针阵列装置及其制作方法
- 专利权人:
- 成都工业学院
- 发明人:
- 孟令款,李可为
- 申请号：
- CN202010089390.X
- 公开号：
- CN111228643A
- 申请日:
- 2020.12.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种空心微针阵列装置,可以是中心对称或非对称(侧开式)的中空微针阵列,具有高通量的头部逐渐尖锐圆滑的凸起结构,支撑结构位于背面,而流体可以从通孔中流入或流出。同时,本发明提供了一种制造微针阵列的方法,首先定义微针阵列的光刻图案,通过多次交替的各向同性刻蚀和各向异性刻蚀,形成顶端凸起的梯次状结构,然后再次进行各向异性刻蚀,形成高深宽比微针阵列侧壁结构;定义微针阵列中孔加工图案,形成内部通孔;最后在所述衬底背面构建支撑结构,由此形成上下互相连通的中孔微针阵列结构。仅利用简单的光刻以及刻蚀相结合的方法即可实现空心微针阵列的制备,制造成本低且工艺简单,适合规模量产。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
