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高分子化合物、表面処理剤、表面処理剤を用いた積層体、トランジスタ、積層体の製造方法
专利权人:
株式会社ニコン
发明人:
川上 雄介,小泉 翔平,杉▲崎▼ 敬
申请号:
JP20170511097
公开号:
JPWO2016163525(A1)
申请日:
2016.04.08
申请国别(地区):
日本
年份:
2018
代理人:
摘要:
優れた安定性と基板に対する密着性を有し、無電解めっき配線を施すことが可能な化合物を提供する。下記式(1)で表される構成単位を有する高分子化合物。[化1]〔式(1)中、R1は水素またはメチル基を表し、mは2〜20の整数を表し、Qは感光性脱離基を表す。〕
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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