재단법인대구경북과학기술원;재단법인대구경북과학기술원;DAEGU GYEONGBUK INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人:
최홍수,정준택,김상원,CHOI, HONG SOOKR,JUNG, JOON TAEKKR,KIM, SANG WONKR
申请号：
KR1020130120783
公开号：
KR1020150042050A
申请日:
2013.10.10
申请国别(地区):
KR
年份:
2015
代理人:
摘要：
According to an embodiment of the present invention, a manufacturing method for a flexible array of an ultrasonic probe comprises: a piezo-electric material attaching step which attaches a piezo-electric material with an electrode to one side of silicon； a photo resist step which cuts the central part of the piezo-electric material and then forms a photo resist material in the upper part of the cut piezo-electric material； a flexibility providing step which fills a flexible material into a gap between the piezo-electric materials engraved by the photo resist and into a concave part on the silicon； and a metal connecting step which removes part of the photo resist material in the upper part of the piezo-electric material, and connects the cut and separated piezo-electric materials using bridge metal. Therefore, a flexible array of an ultrasonic probe manufactured thereby can provide flexibility by including a flexible material between piezo-electric materials, can provide excellent focusing of sound waves by being easily coupled to even a case with a curved surface, and can facilitate the flow of electric power between the piezo-electric materials by electrically connecting the piezo-electric materials using bridge metal.본 발명의 실시예에 따른 초음파 프로브의 유연성 어레이 제조 방법은, 실리콘의 일측에 전극이 부착된 압전 물질을 부착하는, 압전 물질 부착 단계； 압전 물질의 중앙 부분을 절취한 후 절취된 압전 물질의 상부에 포토레지스트 물질을 형성하는, 포토레지스트 단계； 포토레지스트에 의해 음각으로 형성된 압전 물질의 사이 부분 및 실리콘에 형성된 함몰 부분에 유연성 물질을 충진하는, 유연성 부여 단계； 및 압전 물질의 상부에 있는 포토레지스트 물질의 일부를 제거하고, 절취되어 이격된 압전 물질 간을 브릿지 메탈(bridge metal)로 연결하는, 메탈 연결 단계；를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 압전 물질 사이에 유연성 물질이 개재됨으로써 유연성을 구비할 수 있으며, 이를 통해 예를 들면 곡면을 갖는 케이스의 부분에도 용이하게 결합될 수 있어 음파의 포커싱을 우수하게 할 수 있고 아울러 브릿지 메탈이 압전 물질 사이를 전기적으로 연결하기 때문에 압전 물질 사이에 전기 흐름이 원활하게 이루어질 수 있다.
