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蒸着マスクの製造方法、蒸着マスクを作製するために用いられる金属板およびその製造方法
- 专利权人:
- 大日本印刷株式会社
- 发明人:
- 池 永 知加雄,中 山 浩 明,池 田 和 成,初 田 千 秋,大 内 詩 子
- 申请号：
- JP20160199397
- 公开号：
- JP2017066530(A)
- 申请日:
- 2016.10.07
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】第１面上に狭い幅のレジストパターンを安定に設けることができる金属板を提供する。【解決手段】金属板の製造方法は、ニッケルを含む鉄合金からなる板材を準備する準備工程を備えている。板材から得られる金属板の第１面の組成分析を、Ｘ線光電子分光法を用いて実施した結果として得られる、ニッケル酸化物のピーク面積値とニッケル水酸化物のピーク面積値との和をＡ１とし、鉄酸化物のピーク面積値と鉄水酸化物のピーク面積値との和をＡ２とする場合、Ａ１／Ａ２が０．４以下になっている。【選択図】図１０
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
