Problem to be solved: to provide a high performance ultrasonic device, ultrasonic probe, and ultrasonic apparatus.The ultrasonic device is provided on the first surface of the substrate having a first surface, a plurality of apertures extending in the first direction along the plane of the first surface in the first plane, and a partition wall which separates adjacent apertures The diaphragm wall and the wall which are provided on the opposite side of the vibrating film blocking the opening, and extending in the second direction intersecting the first direction, and in the plane of view in the thickness of the vibration film viewed from the thickness direction of the substrate DepartmentA diaphragm wall is provided at a position surrounded by adjacent walls.Diagram【課題】高い性能の超音波デバイス、超音波探触子、及び超音波装置を提供する。【解決手段】超音波デバイスは、第一面を有し、前記第一面において前記第一面の面方向に沿う第一方向に延設される複数の開口部と、隣り合う前記開口部を隔てる隔壁と、を有する基板と、前記第一面に設けられ、前記開口部を閉塞する振動膜と、前記振動膜の前記基板とは反対側に設けられ、前記第一方向に交差する第二方向に延設される壁部と、前記振動膜に設けられ、前記基板の厚み方向から見た平面視において、前記隔壁と前記壁部とに囲われる位置に設けられる圧電素子と、を備え、前記開口部には、隣り合う前記隔壁間を連結する仕切壁が設けられている。【選択図】図8
