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放電装置
专利权人:
MORITA TATSUO
发明人:
MORITA TATSUO,森田 達夫
申请号:
JP2012031268
公开号:
JP2013168297A
申请日:
2012.02.16
申请国别(地区):
JP
年份:
2013
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a discharge device which is easily assembled, and can respond to small size to large size, and to simultaneously extract charged particles of desired polarity from a plasma area to be put to practical use.SOLUTION: A bipolar discharge electrode is constituted of: a cylindrical dielectric cylinder 11 to which a metal layer which is a ground electrode 13 is adhered and a metal rod which is a high voltage application electrode 12 coaxially arranged with the dielectric cylinder 11, one end of the dielectric cylinder 11 is opened, and a metal mesh which is a unipolar high voltage application electrode 14 is oppositely arranged via a space gap to apply unipolar high voltage.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】組み立てが容易で、小型から大型まで対応可能な放電装置を提供すると同時にプラズマ領域から所望の極性の荷電粒子を抽出して実用に供する。【解決手段】接地電極13である金属層を密着させた円筒状の誘電体筒11と、誘電体筒11と同軸に配置された高圧印加電極12である金属棒で双極性放電電極を構成し、誘電体筒11の一端を開放して、空間ギャップを介して単極性高電圧印加電極14である金属メッシュを対向配置し単極性の高電圧を印加する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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