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表面性状指標化装置、表面性状指標化方法及びプログラム
- 专利权人:
- 新日鐵住金株式会社
- 发明人:
- 梅村 純,赤木 俊夫
- 申请号:
- JP20160506420
- 公开号:
- JPWO2015133287(A1)
- 申请日:
- 2015.02.19
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 【課題】複数の照明波長や測定角度による測定結果を利用して、測定対象物の表面性状を統合的に指標化すること。【解決手段】本発明に係る表面性状指標化装置は、測定対象物の表面での照明光の反射光を、波長を選択しながら撮像することで複数の撮像画像を生成する測定装置と、得られた複数の撮像画像に基づいて測定対象物の表面性状を指標化する演算処理装置と、を備える。測定装置により生成される撮像画像は、撮像装置に結像した反射光の波長が同一であり、かつ、撮像画像における測定対象物の長手方向に対応する方向では撮像装置に結像した反射光の反射角が互いに相違している。演算処理装置は、生成された複数の撮像画像を再構成することで、反射光の波長と反射光の反射角とが互いに共通し、測定対象物の異なる視野位置に対応する
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/