The purpose of this study is to detect the irradiation position of charged particle beam even when the position of the charged particle beam occurs in the irradiation spot. A beam data processing device (11) measures a plurality of channel data converters (21) which convert a plurality of analog signals output from a position monitor (4) into digital signals and a beam position based on the voltage information processed by the plurality of channel data converters (21) and A position position processing unit (23) for calculating a beam position, an abnormality determination processing unit (24) for generating a position abnormality signal, and a plurality of conversion sections (21) so that the beam performs a plurality of digital signal conversion processing while the beam is stopped at the irradiation spot A control unit (21) comprises a plurality of AD converters (33), a demultiplexer (32) for distributing analog signals, and a digital signal processed by an ad converter to position a position size The multiplexer 34 has a multiplexer 34.照射スポットにおいて荷電粒子ビームの位置異常が発生した場合にも荷電粒子ビームの照射位置を検出することを目的とする。ビームデータ処理装置(11)は、位置モニタ(4)から出力される複数のアナログ信号を、デジタル信号に変換する複数のチャネルデータ変換部(21)と、これにより処理された電圧情報に基づいて、ビーム位置を計算する位置サイズ処理部(23)と、ビーム位置を判定し、位置異常信号を生成する異常判定処理部(24)と、ビームが照射スポットに停留中に複数回のデジタル信号変換処理を実行するように、複数の変換部(21)を制御する統括制御部(22)と、を備え、変換部(21)は、複数のAD変換器(33)と、アナログ信号を分配するデマルチプレクサ(32)と、AD変換器により処理されたデジタル信号を切り替えて位置サイズ処理部(23)に出力するマルチプレクサ(34)と、を有する。
