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半导体先进过程控制的参数优化控制方法
- 专利权人:
- 重庆邮电大学
- 发明人:
- 王巍,安友伟,杨铿,冯世娟,王振,徐华
- 申请号：
- CN201210591451.8
- 公开号：
- CN103092074B
- 申请日:
- 2012.12.30
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 刘小红
- 摘要：
- 本发明公开了一个半导体先进过程控制（APC）的参数优化控制方法。在半导体工艺过程中，针对间歇过程的优化控制方法，传统方法一般采用线性预测模型。本发明采用基于遗传算法优化的BP神经网络预测模型，通过遗传算法对神经网络的初始权值和阈值进行优化，根据每个染色体所对应的适应度函数F，采用选择操作、概率交叉和变异操作等，并输出最优解，由此确定BP神经网络的最优初始权值和阈值，利用附加动量方法和变学习率学习算法提高BP神经网络的性能，使其经过训练后能很好的预测非线性模型。该方法中遗传算法具有很好的全局搜索能力，容易等到全局最优解，或性能很好的次优解，这对于提高神经网络的建模能力，有很好的促进作用。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
