Disclosed are apparatus and method for decontaminating and sterilizing chemical and biological agents, which can efficiently decontaminate and sterilize high precision electronic devices, communication devices, computers or inside of vehicles and air planes contaminated with chemical and biological agent by using mixture of non-thermal atmospheric pressure air plasma and oxidizing peroxide vapor. The apparatus according to the present invention comprises a decontamination and sterilization chamber 10 a first fluid supplying line L1 and a second fluid supplying line L2, which are installed in the form of closed circuit between the inlet 11 and outlet 12 of the decontamination and sterilization chamber 10 a peroxide vapor supplier which is installed on the first fluid supplying line and a non-thermal atmospheric pressure air plasma reactor 70 which is installed on the second fluid supplying line L2.Linvention concerne un appareil et un procédé pour décontaminer et stériliser des agents chimiques et biologiques, qui peuvent efficacement décontaminer et stériliser des dispositifs électroniques à précision élevée, des dispositifs de communication, des ordinateurs ou lintérieur de véhicules et daéronefs contaminés au moyen dun agent chimique et biologique par utilisation dun mélange de plasma-air sous pression atmosphérique non-thermique et de vapeur de peroxyde oxydant. Lappareil selon linvention comprend une chambre de décontamination et de stérilisation (10) une première ligne dalimentation en fluide L1 et une seconde ligne dalimentation en fluide L2 qui sont installées sous forme de circuit fermé entre lentrée L1 et la sortie 12 de la chambre de décontamination et de stérilisation (10) un dispositif dalimentation en vapeur de peroxyde qui est installé sur la première ligne dalimentation en fluide et un réacteur de plasma-air sous pression atmosphérique non-thermique (70) qui est installé sur la seconde ligne dalimentation en fluide L2.
