PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scanner for focusing a radiation flux on a predetermined region in a predetermined volume, capable of simply and accurately focusing a laser beam in predetermined various regions in a certain volume in a lateral direction and in a laser beam direction, and a corresponding method.SOLUTION: A scanner for focusing a radiation flux (3) on a predetermined region in a predetermined volume includes: an input optical system (6) having at least one first optical element (11), which the radiation flux (3) first enters； a focusing optical system (8) for focusing the radiation flux (3) emitted from the input optical system (6)； and a deflecting mechanism (7) disposed between the first optical element (11) and the focusing optical system (8) for deflecting the radiation flux (3) having passed through the first optical element (11), in a lateral direction according to the adjusted position of a focal point. At least one optical element (11) of the input optical system (6) is movable relative to the deflecting mechanism (7) to adjust the position of the focal point of the radiation flux (3) in the direction of the radiation flux.【課題】レーザ光線を横方向およびレーザ光線方向において簡単かつ正確に、あるボリューム中の所定の様々な領域に合焦可能である、所定のボリューム中の所定の領域に放射線束を合焦させるための走査装置、および対応する方法を提供すること。【解決手段】所定のボリューム中の所定の領域に放射線束（３）を合焦させるための走査装置は、放射線束（３）が最初に入り、少なくとも１つの第１の光学素子（１１）を有する入力光学系（６）と、入力光学系（６）から出た放射線束（３）を合焦させ得る合焦光学系（８）と、第１の光学素子（１１）と合焦光学系（８）の間に配置されており、第１の光学素子（１１）を通過した後の放射線束（３）を、焦点の調整位置に応じて横方向に偏向させるための偏向機構（７）とを含み、放射線束（３）の焦点の放射線束方向における位置を調整するために、入力光学系（６）の少なくとも１つの光学素子（１１）が、偏向機構（７）に対して移動可能である。【選択図】 図１
