Carlos Ribeiro,Tasso Karsch,Rüdiger Schäfer,Martin KASPAR
申请号：
DE102012020743
公开号：
DE102012020743A1
申请日:
2012.10.23
申请国别(地区):
DE
年份:
2014
代理人:
摘要：
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bestrahlungsvorrichtung mit– zumindest einer Strahlungsquelle welche sowohl UV-Strahlung als auch W-Strahlung, das heisst sichtbares Licht und/oder IR-Strahlung aussendet und– mit einer Transportvorrichtung zur Zustellung von zu bestrahlenden Substraten und– zumindest einem unter einem Winkel von 45° die UV-Strahlung reflektierende und W-Strahlung transmittierende wellenlängenselektives Filter– mit Mittel zur Absorption von IR-Strahlung welche in Propagationsrichtung dem optischen Filter nachgeordnet in dem Strahlengang der vom wellenlängenselektiven Filter nicht abgelenkten W-Strahlung angeordnet istwobei die Mittel zur Absorption von IR-Strahlung auch als Mittel zur Absorption von sichtbarem Licht und von UV-Strahlen ausgebildet sind und die Bestrahlungsvorrichtung Bewegungsmittel umfasst, um das wellenlängenselektive Filter in den Strahlengang der Strahlungsquelle hinein zu führen und aus diesem herauszuführenThe present invention relates to an irradiating device with– at least one radiation source which both uv radiation as well as w-radiation, i.e, visible light and / or ir radiation and emits– by means of a conveyor for delivery of substrates and to be irradiated– at least one at an angle of 45 °, the uv radiation reflecting and w-radiation transmitting a wavelength-selective filter– with means for the absorption of infrared radiation which, in propagation arranged downstream of the optical filter, in the beam path of the not been deflected by the wavelength selective filter is arranged w-radiationwherein the means for the absorption of ir radiation also as a means for the absorption of visible light and of uv rays, and that the irradiating device comprises means, in order to the wavelength selective filter in the beam path of the radiation source and to lead out from this
