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双轴MEMS谐振式加速度传感器结构
专利权人:
中北大学
发明人:
石云波,刘俊,曹慧亮,任建军,唐军,马宗敏,黄堃,康强,冯恒振,寇志伟,连树仁,孙亚楠,韩兴宇
申请号:
CN201611205923.6
公开号:
CN106597011A
申请日:
2016.12.23
申请国别(地区):
中国
年份:
2017
代理人:
朱源`王勇
摘要:
本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器,具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构,包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块;其中,第一环岛质量块位于中心质量块的前方;第二环岛质量块位于中心质量块的后方;第三环岛质量块位于中心质量块的左方;第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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