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高周波アプリケータを有する回転可能な基板支持体
- 专利权人:
- アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
- 发明人:
- 小林 理,フロイド， カービィ エイチ．,塙 広二,パク， スナム,ルボミルスキー， ドミトリー,ケニー， ジェーソン エー．
- 申请号：
- JP20160517530
- 公开号：
- JP2017502489(A)
- 申请日:
- 2014.09.09
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 基板支持体アセンブリは、シャフトアセンブリ、シャフトアセンブリの一部分に連結されたペデスタル、及びシャフトアセンブリに連結された第一のロータリコネクタを含み、第一のロータリコネクタは、回転可能なシャフト部材を囲み、シャフトアセンブリと電気的に結合され、回転可能なシャフトとともに回転可能である第一のコイル部材、及び第一のコイル部材を囲み、第一のコイル部材に対して静止している第二のコイル部材を含み、回転高周波アプリケータがエネルギーを与えられ、シャフトアセンブリを通って高周波信号／電力をペデスタルに供給するとき、第一のコイル部材は第二のコイル部材と電気的に結合する。【選択図】図７
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
