一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法
- 专利权人:
- 华中科技大学
- 发明人:
- 柳林,黎智,张诚
- 申请号:
- CN201410467783.4
- 公开号:
- CN104233119B
- 申请日:
- 2014.09.15
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 曹葆青
- 摘要:
- 本发明公开了一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法,其包括的成分及该成分的原子百分比含量分别为:14.0~22.0at.%Cr,6.0~16.0at.%Mo,4.0~7.0at.%B,4.0~20.0at.%C,0.0~3.0at.%W以及余量的Fe。其制备方法包含S1制备单一合金靶材;S2选择衬底材料,将衬底表面进行平整化,然后清洗并吹干待用;S3进行磁控溅射,其中,背景真空度值不高于5x10‑4Pa,靶基距为40~100mm,溅射时间为2~120min。本发明中铁基非晶薄膜具有很高的硬度、优异的耐腐蚀、抗磨损等特性,且其制备方法的工艺可操作性强,制造成本低。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心