一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法
- 专利权人:
- 华中科技大学
- 发明人:
- 柳林,黎智,张诚
- 申请号：
- CN201410467783.4
- 公开号：
- CN104233119B
- 申请日:
- 2014.09.15
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 曹葆青
- 摘要：
- 本发明公开了一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法，其包括的成分及该成分的原子百分比含量分别为：14.0～22.0at.％Cr，6.0～16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W以及余量的Fe。其制备方法包含S1制备单一合金靶材；S2选择衬底材料，将衬底表面进行平整化，然后清洗并吹干待用；S3进行磁控溅射，其中，背景真空度值不高于5x10‑4Pa，靶基距为40～100mm，溅射时间为2～120min。本发明中铁基非晶薄膜具有很高的硬度、优异的耐腐蚀、抗磨损等特性，且其制备方法的工艺可操作性强，制造成本低。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
