Technology and structure that gives the flexibility of micromachined transducer arrays. In one embodiment, the transducer array comprises a plurality of transducer elements, each including a piezoelectric element and one or more electrodes disposed in or on the support layer. The support layer is bonded to a flexible layer comprising a polymeric material, and the flexibility of the transducer array results in part from the total thickness of the flexible layer. In another embodiment, the flexibility of the transducer array stems in part from one or more flexure structures formed therein. [Selection] Figure 2Kマイクロ加工のトランスジューサアレイの柔軟性を与える技術及び構造。一実施形態において、トランスジューサアレイは、複数のトランスジューサ素子を備え、その各々は、圧電素子と、支持層内又はその上に配置された１つ以上の電極とを含む。支持層は、ポリマー材料を含む柔軟な層に接合され、トランスジューサアレイの柔軟性は、柔軟な層の全厚みから一部分生じる。別の実施形態では、トランスジューサアレイの柔軟性は、そこに形成される１つ以上の撓み構造体から一部分生じる。【選択図】 図２Ｋ
