PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration element for which a piezoelectric element and a flexible printed wiring board are easily and strongly connected even when a resin, a composite material of the resin and ceramics or only the ceramics is used as a piezoelectric material and manufacturing efficiency is excellent, an ultrasonic apparatus using the vibration element, and a method of manufacturing the vibration element.SOLUTION: The vibration element 100 includes the piezoelectric element 110 and the flexible printed wiring board 120, wherein the piezoelectric element 110 and the flexible printed wiring board 120 are bonded through an anisotropic conductive film 130 to configure the vibration element 100.COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT【課題】圧電材料として樹脂や、樹脂とセラミックスとの複合材料や、セラミックスのみを用いる場合においても、圧電素子とフレキシブルプリント配線板との接続を容易且つ強固に行うことができると共に、製造効率の良い振動素子及び該振動素子を用いた超音波機器並びに該振動素子の製造方法の提供を課題とする。【解決手段】圧電素子110と、フレキシブルプリント配線板120とから構成される振動素子100であって、圧電素子110と、フレキシブルプリント配線板120とを異方性導電性フィルム130を介して接合することを特徴とする振動素子100。【選択図】 図1
