An ophthalmic surgical laser system includes a laser engine for generating a laser beam, a first Z scanner that receives the generated laser beam and scans the focus of the laser system over a first Z interval along the optical axis of the laser system, An XY scanner that accepts the emitted laser beam and scans the focal point of the laser system in a direction substantially transverse to the optical axis of the laser system and a laser beam that is scanned from the XY scanner, And a second Z scanner that scans the focus of the laser system over the interval.안과 수술 레이저 시스템은 레이저 빔을 발생시키는 레이저 엔진, 발생된 레이저 빔을 받아들이고, 레이저 시스템의 광학축을 따라 제1 Z 간격에 걸쳐 레이저 시스템의 초점을 스캔하는 제1 Z 스캐너, 제1 Z 스캐너에 의해 출사된 레이저 빔을 받아들이고, 레이저 시스템의 광학축에 대하여 실질적으로 가로지르는 방향으로 레이저 시스템의 초점을 스캔하는 XY 스캐너, 및 XY 스캐너로부터 스캔된 레이저 빔을 받아들이고, 레이저 시스템의 광학축을 따라 제2 Z 간격에 걸쳐 레이저 시스템의 초점을 스캔하는 제2 Z 스캐너를 포함한다.