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MEMS圧力センサ装置
专利权人:
ACT MEDICAL SERVICE CO.; LTD.
发明人:
TAKAHASHI, Shinichi,高橋 信一
申请号:
JPJP2014/062284
公开号:
WO2015/170376A1
申请日:
2014.05.07
申请国别(地区):
WO
年份:
2015
代理人:
摘要:
Provided is a pressure sensor unit (40) equipped with: a MEMS pressure sensor (1), which has a space (21) on the pressure detection surface-side of a diaphragm (2), has the diaphragm (2) to detect pressure using the pressure detection surface that faces the space (21), and outputs an electric signal corresponding to the detected pressure and a pad (11), which supports the MEMS pressure sensor (1) and is placed in contact with an area to be measured, the pad (11) having a space (22) that communicates with the space (21) and is larger than the space (21). When the pressure sensor unit (40) is placed on an area to be measured, the spaces (21, 22) are sealed to become sealed spaces and the MEMS pressure sensor (1) detects pressure by transmitting the pressure of the area being measured to the diaphragm (2) of the MEMS pressure sensor (1) via the spaces (21, 22).La présente invention concerne une unité (40) capteur de pression équipée : dun capteur de pression MEMS (1), un espace (21) étant ménagé du côté de la surface de détection de pression dun diaphragme (2), le diaphragme (2) détectant la pression à laide de la surface de détection de pression qui fait face à lespace (21), et délivrant en sortie un signal électrique correspondant à la pression détectée et dun tampon (11), qui supporte le capteur de pression MEMS (1) et qui est placé en contact avec une zone à mesurer, le tampon (11) comprenant un espace (22) qui communique avec lespace (21) et qui est plus grand que lespace (21). Lorsque lunité (40) capteur de pression est placée sur une zone à mesurer, les espaces (21, 22) sont scellés devenant ainsi des espaces hermétiques et le capteur de pression MEMS (1) détecte la pression en transmettant la pression de la zone mesurée au diaphragme (2) du capteur de pression MEMS (1) par lintermédiaire des espaces (21, 22).ダイアフラム2の圧力検出面側に空間21を有し、空間21に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラム2を有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するMEMS圧力センサ1と、MEMS圧力センサ1を支持して被測定部に接触して載置されるパッド11であって、空間21に連通しかつ空間21よりも大きなサイズ
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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