LTD.;株式会社アクトメディカルサービス;ACT MEDICAL SERVICE CO.;ACT MEDICAL SERVICE CO., LTD.
发明人:
TAKAHASHI, Shinichi,高橋 信一,高橋 信一
申请号：
JPJP2015/084799
公开号：
WO2016/147503A1
申请日:
2015.12.11
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要：
Disclosed is a MEMS pressure sensor device that is provided with: a MEMS pressure sensor, which has a first space on the pressure detection surface side of a diaphragm, and the diaphragm that detects pressure using a pressure detection surface facing the first space, and which outputs an electric signal corresponding to the pressure thus detected； and a first film sheet, which supports the MEMS pressure sensor, and is placed on a section to be measured by being in contact with the section to be measured, said first film sheet having a second space, which is in communication with the first space, and has a larger size than the first space in the direction parallel to the pressure detection surface. The device is also provided with a second film sheet having a third space having a size in the direction parallel to the pressure detection surface, said second film sheet being provided for the purpose of placing, in the third space, an area of the section to be measured, before placing the MEMS pressure sensor device on the section to be measured.L'invention concerne un dispositif de capteur de pression MEMS qui est pourvu : d'un capteur de pression MEMS, qui a un premier espace sur le côté surface de détection de pression d'un diaphragme, et le diaphragme qui détecte la pression à l'aide d'une surface de détection de pression faisant face au premier espace, et qui délivre en sortie un signal électrique correspondant à la pression ainsi détectée ； et d'une première feuille de film, qui supporte le capteur de pression MEMS, et qui est placée sur une section à mesurer en étant en contact avec la section à mesurer, ladite première feuille de film ayant un deuxième espace, qui est en communication avec le premier espace, et présente une plus grande taille que le premier espace dans la direction parallèle à la surface de détection de pression. Le dispositif est également pourvu d'une seconde feuille de film ayant un troisième espace ayant une taille dans la direction parallèl
