KIM, JUNG SEOK,김중석,KO, BYUNG HUN,고병훈,MOON, BEOM JIN,문범진,YOON, JUNG KEE,윤정기
申请号：
KR1020100095572
公开号：
KR1020120033842A
申请日:
2010.09.30
申请国别(地区):
KR
年份:
2012
代理人:
摘要：
PURPOSE: An apparatus and a method for detecting radiation are provided to improve resolution of a radiation image by reading the radiation image using a plasma beam.CONSTITUTION: A top electrode layer(101) transmits radiation. A first insulation layer(102) blocks charges from the top electrode layer. A light conductive layer(103) shows photo conductivity by the radiation. A second insulation layer(104) protects the light conductive layer from plasma discharge. A bottom substrate(118) faces the second insulation layer. A partition(111) forms a cell structure in the second insulation layer and the bottom substrate.COPYRIGHT KIPO 2012영상의 해상도를 높일 수 있는 방사선 검출 장치 및 방사선 검출 방법이 제공된다. 일 측면에 따른 방사선 검출 장치는, 방사선을 전달하는 상부 전극층과, 상부 전극층으로부터 유입되는 전하를 막는 제1 절연층과, 방사선에 의해 광 도전성을 나타내는 광 도전층과, 플라즈마 방전으로부터 광 도전층을 보호하는 제2 절연층과, 제2 절연층에 대향하도록 형성된 하부 기판과, 제2 절연층 및 하부 기판 내부에 셀 구조를 형성하는 격벽과, 격벽에 의해 형성되는 셀 구조의 내부 챔버에 포함되어 플라즈마 발광을 일으키는 가스층과, 하부 기판에 형성되는 바닥 전극과, 바닥 전극 상부에 형성되며, 접지 연결되는 제1 RF 전극 및 플라즈마 발생을 위한 RF 전원이 인가되도록 형성된 제2 RF 전극과, 제1 RF 전극 및 제2 RF 전극을 둘러싸도록 형성되어 제1 RF 전극 및 제2 RF 전극을 가스층 및 바닥 전극과 절연하는 제3 절연층을 포함한다.
