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斜槽式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法
- 专利权人:
- 长春工业大学
- 发明人:
- 程廷海,林洁琼,何猛,何璞,殷梦飞
- 申请号：
- CN201610386959.2
- 公开号：
- CN105827140A
- 申请日:
- 2016.06.06
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 摘要：
- 一种斜槽式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由底座、预压力调整机构、斜槽式定子和动子四部分组成，所述定子采用对称的柔性铰链结构来产生位移放大，利用斜槽与半圆形驱动足沿轴向刚度分布不均而产生侧向位移，增大摩擦驱动力，减小摩擦阻力；同时将摩擦调控波复合叠加于定子快速变形阶段的锯齿驱动波中，从而降低快速变形阶段定、动子间摩擦阻力，实现对摩擦力的综合调控，显著提升压电粘滑直线马达机械输出特性。本发明具有结构简单、精度高、行程大等特点，在航空航天、光学精密仪器和半导体加工等微纳精密驱动与定位领域中具有很好的应用前景。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
