PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a filter calibration device suitable for keeping the parallelism of reflecting mirrors of a filter with good accuracy.SOLUTION: The filter calibration device includes: light intensity distribution detecting means for detecting the intensity distribution of the wave of an illumination light filtered by a Fabry-Perot filter and reflecting mirror controlling means for controlling the parallelism of a pair of reflecting mirrors which the Fabry-Perot filter has based on the detected intensity distribution detected.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】フィルタの反射鏡同士の平行度を精度良く維持するのに好適なフィルタ校正装置を提供すること。【解決手段】フィルタ校正装置を、ファブリペロー型フィルタによってフィルタリングされた照明光の波長の強度分布を検出する光強度分布検出手段と、検出された検出強度分布に基づいてファブリペロー型フィルタが有する一対の反射鏡の平行度を調節する反射鏡調節手段と、から構成した。【選択図】図4
