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Ｘ線反射率法による表面粗さ・界面粗さの２次元情報評価方法及び評価プログラム
- 专利权人:
- 国立大学法人神戸大学
- 发明人:
- 藤居 義和
- 申请号：
- JP20150118502
- 公开号：
- JP2017003464(A)
- 申请日:
- 2015.06.11
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】Ｘ線反射率法によって表面・界面の凹凸について相関距離を含む２次元情報を得る。【解決手段】試料にＸ線を照射し、鏡面反射方向に反射する鏡面反射Ｘ線の強度を検出し、入射Ｘ線強度に対する鏡面反射Ｘ線強度の割合であるＸ線反射率を測定する（Ｓ１０）。試料の解析モデルについてパラメータの初期値を設定し（Ｓ１２）、Ｘ線の屈折、反射及び干渉を解析して、Ｘ線反射率を計算する（Ｓ１４）。Ｘ線反射率の測定値と計算値との差が許容範囲内に収まるまで、パラメータを変更しながら計算を繰り返す（Ｓ１６、Ｓ１８）。差が許容範囲内に収まったときのパラメータによって、試料の多層構造の情報を得る（Ｓ２０）。パラメータは、解析モデルの各層の表面又は界面のうち一つ以上について、表面又は界面の凹凸の高さ方向の大き
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
