Verfahren zur Präparation von Referenzmarkierungen auf einem Probenträger (1), bei dem einzelne Partikel (2.1) als Referenzmarkierungen auf einer Grenzfläche (1.1) des Probenträgers (1) aufgebracht werden, die eine Oberflächenladung aufweisen und in einer Flüssigkeit (2) gelöst in ein elektrisches Feld eingebracht werden, in dem der Probenträger (1) angeordnet ist, und die Partikel (2.1) mit einer steuerbaren Partikeldichte in einem oder mehreren zeitlich aufeinanderfolgenden Abscheidungsprozessen an der Grenzfläche (1.1) abgeschieden werden.Method for the preparation of reference markings on a sample carrier (1), in which individual particles (2.1) are applied as reference markings on an interface (1.1) of the sample carrier (1), which have a surface charge and dissolved in a liquid (2) in an electrical Field in which the sample carrier (1) is arranged, and the particles (2.1) are deposited with a controllable particle density in one or more temporally successive deposition processes at the interface (1.1).