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卤素制冷剂检测传感器敏感材料及气敏元件的制造方法
- 专利权人:
- 徐州市精英电器技术有限公司
- 发明人:
- 徐甲强,王丁,张源,许鹏程
- 申请号：
- CN200810195806.5
- 公开号：
- CN101368930B
- 申请日:
- 2008.09.02
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2011
- 代理人:
- 周爱芳
- 摘要：
- 本发明涉及一种卤素制冷剂检测传感器敏感材料及其气敏元件制备方法，敏感材料分为两层，内层组分为SnO2纳米材料；外层材料为负载有Pd量子点的介孔SiO2。首先将SnO2纳米粉体研磨后以适量去离子水调成糊状，均匀涂敷在厚膜元件表面，经过500℃退火处理2小时，元件表面均匀涂敷负载有0.1％-1％Pd量子点的介孔SiO2增敏材料，再次经过500℃退火处理2小时，制得气敏元件。最后按厚膜半导体气敏元件制作工艺对气敏元件进行焊接、老化、封装、制得制冷剂R134a检测传感器元件。本发明制得的气敏元件在卤素制冷剂检测中具有灵敏度高，稳定性好、响应恢复时间短的优点，可用于卤素制冷剂的检漏或检测领域。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
