一种传感器元件的制造方法
- 专利权人:
- 无锡信大气象传感网科技有限公司
- 发明人:
- 禹胜林
- 申请号：
- CN201410644804.5
- 公开号：
- CN104391008A
- 申请日:
- 2014.11.14
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 张惠忠
- 摘要：
- 本发明公开了一种传感器元件的制造方法，1）在外侧覆盖板上印制聚酰亚胺薄膜、云母板石棉等绝缘层材料，烘干得到绝缘的外侧覆盖板；2）设定外侧覆盖板和电极基片之间作为间隔反应带；3）在间隔反应带内侧均匀地填充一层固形材料，间隔反应层内剩余的空间用作气体通道；固形材料的主要成分为丙烯类树脂和密封性好且耐高温的石墨4）将气体敏感涂料加热，压制在半导体电子元件一侧，固定于电极基片上；5）将载有半导体电子元件的电极基片整体固定于气体通道的中央，气体敏感层正对气体输入方向；6）热压烧制，常温下冷却，得到气体传感器元件。该制作过程提高芯片寿命、提高成品率、制作工艺简单。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
