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ELECTRODE SURFACE MATERIALS AND STRUCTURES FOR PLASMA CHEMISTRY
专利权人:
发明人:
申请号:
EP09845328.5
公开号:
EP2435206B1
申请日:
2009.09.30
申请国别(地区):
EP
年份:
2016
代理人:
摘要:
The present disclosure provides for a plasma system, which includes a plasma device, an ionizable media source, and a power source. The plasma device includes an inner electrode and an outer electrode coaxially disposed around the inner electrode. At least one of the inner electrode and the outer electrode is formed from a metal alloy and includes a dielectric coating covering at least a portion thereof. The ionizable media source is coupled to the plasma device and is configured to supply ionizable media thereto. The power source is coupled to the inner and outer electrodes and is configured to ignite the ionizable media at the plasma device to form a plasma effluent.Linvention concerne un système à plasma qui comprend un dispositif à plasma, une source de milieu ionisable et une source dalimentation. Le dispositif à plasma comprend une électrode intérieure et une électrode extérieure, placée coaxialement autour de lélectrode intérieure. Lélectrode intérieure et/ou lélectrode extérieure est/sont faite(s) dun alliage métallique et comprend/comprennent un revêtement diélectrique couvrant au moins une partie de celle(s)-ci. La source de milieu ionisable est couplée au dispositif à plasma et est conçue pour fournir à celui-ci le milieu ionisable. La source dalimentation, couplée aux électrodes intérieure et extérieure, est conçue pour enflammer le milieu ionisable dans le dispositif à plasma pour former un effluent de plasma.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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