Problem to be solved: to provide an analysis method of a local purification apparatus capable of estimating the concentration of hydrogen peroxide gas with high accuracy.A method of analyzing a local purification apparatus according to the present invention isAn analysis method for analyzing the concentration of H.sub.2 O.sub.2 gas in the work booth section 2 in a local purification apparatus 10 comprising a plenum portion 1 having an air filter 11 and a work booth portion 2 and a hydrogen peroxide (H2O2) gas generating part 3；The plenum Part 1 and the work booth Part 2 are taken together.The first gas concentration calculation step S11 for calculating the first concentration C1 of the H.sub.2 O.sub.2 gas in the case where the air filter 11 is not provided, andIn the case of the first concentration C1An adsorption amount calculation step S12 for calculating the amount of adsorption CA of the H2O2 gas adsorbed on the air filter 11 and the stepA second gas concentration calculation step S13 for subtracting the adsorption amount Ca from the first concentration C1 to calculate the second concentration C2 of the H.sub.2 O.sub.2 gas in the work booth section 2 and.Diagram【課題】過酸化水素ガスの濃度を高い精度で推算できる局所清浄化装置の解析方法を提供する。【解決手段】本発明に係る局所清浄化装置の解析方法は、エアフィルタ１１を有するプレナム部１と作業ブース部２と過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）ガス発生部３とを備える局所清浄化装置１０における前記作業ブース部２内のＨ２Ｏ２ガスの濃度を解析する解析方法であり、プレナム部１および作業ブース部２を一体とみなし、かつエアフィルタ１１を備えていないとした場合におけるＨ２Ｏ２ガスの第１の濃度Ｃ１を計算する第１のガス濃度計算ステップＳ１１と、前記第１の濃度Ｃ１である場合における、エアフィルタ１１に吸着するＨ２Ｏ２ガスの吸着量ＣＡを計算する吸着量計算ステップＳ１２と、前記第１の濃度Ｃ１から吸着量ＣＡを差し引いて作業ブース部２内の前記Ｈ２Ｏ２ガスの第２の濃度Ｃ２を計算する第２のガス濃度計算ステップＳ１３と、を有する。【選択図】図１
