ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE
发明人:
KIM, YONG HEEKR,김용희,JUNG, SANG DONKR,정상돈,CHUNG, MYUNG AEKR,정명애
申请号：
KR1020150179385
公开号：
KR1020170071261A
申请日:
2015.12.15
申请国别(地区):
KR
年份:
2017
代理人:
摘要：
A method of forming a metal electrode includes a step of forming a resist pattern where the width of an upper part is larger than that of a lower part a step of forming an insulating film for a mold on the resist pattern a step of removing the resist pattern to form a mold and a step of forming a metal electrode including an alloy of a first metal and a second metal in the mold. So, it is possible to form a protrusion-type metal electrode with increased surface area and control its size.COPYRIGHT KIPO 2017금속 전극의 형성 방법은 상부가 하부에 비해 넓은 폭을 갖는 레지스트 패턴을 형성하는 단계 상기 레지스트 패턴 상에 몰드용 절연막을 형성하는 단계 상기 레지스트 패턴을 제거하여몰드를 형성하는 단계 및 상기 몰드 내에 제1 금속 및 제2 금속의 합금을 포함하는 금속 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
