ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE
发明人:
KIM, YONG HEEKR,김용희,JUNG, SANG DONKR,정상돈
申请号：
KR1020150030383
公开号：
KR1020160107527A
申请日:
2015.03.04
申请国别(地区):
KR
年份:
2016
代理人:
摘要：
According to an embodiment of the present invention, a surface modification method of a neural electrode comprises: a step of forming a neural electrode array a step of simultaneously electrodepositing first metal nanoparticles and second metal nanoparticles on a surface of the neural electrode array wherein the first metal nanoparticles and the second metal nanoparticles have different solubility with respect to an etching solution and a step of selectively etching the second metal nanoparticles by the etching solution to form a porous structure, made of the first metal nanoparticles, on the surface of the neural electrode array. As such, the method reduces impedance to reduce thermal noise.COPYRIGHT KIPO 2016본 발명의 실시 예에 따른 신경 전극의 표면 개질 방법은 신경 전극 어레이를 형성하는 단계 상기 신경 전극 어레이의 표면에 식각 용액에 대한 용해도가 서로 다른 제1 금속 나노 입자와 제2 금속 나노 입자를 동시에 전기 전착하는 단계 및 상기 제2 금속 나노 입자를 상기 식각 용액을 이용하여 선택적으로 식각하여 상기 신경 전극 어레이 표면에 상기 제1 금속 나노 입자로 구성된 다공성 구조를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
