Flow sensors include electroactive material devices. The driver controls the electroactive material device array to transfer heat locally to the flowing medium to be sensed. Temperature sensing signals are obtained and these are used to derive flow measurements. The manner in which heat is dissipated is related to the flow, which can be measured based on the temperature sensing signal. Temperature sensing involves measuring electrical properties, including impedance or impedance phase angle, of the electroactive material device at a first frequency and a second frequency different from the first frequency. Thus, the effects of temperature and pressure can be separated so that the temperature can be measured at any pressure. (Selection diagram) Fig. 3フロー・センサーは電気活性材料デバイスを含む。ドライバは、センシングされるべき流れる媒体へ局所的に熱を運ぶように電気活性材料デバイス配列を制御する。温度センシング信号が取得され、これらはフロー測定値を導出するために使用される。熱が散逸される仕方は流れに関連し、それは温度センシング信号に基づいて測定可能である。温度センシングは、第1周波数及び第1周波数とは異なる第2周波数における電気活性材料デバイスのインピーダンス又はインピーダンス位相角を含む電気特性を測定することを含む。こうして、温度及び圧力の影響は、温度が任意の圧力で測定され得るように分離されることが可能である。〔選択図〕図3
