光学计量的准确度提升
- 专利权人:
- 科磊股份有限公司
- 发明人:
- B·布林戈尔茨,E·古列维奇,I·阿达姆,Y·弗莱,D·阿鲁穆特,Y·拉姆霍特,N·夕拉,Y·德莱乌,T·耶其夫,E·亚希渥,L·撒尔通,T·里维安特
- 申请号：
- CN201780012673.0
- 公开号：
- CN108701625A
- 申请日:
- 2017.02.23
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 张世俊
- 摘要：
- 本发明提供提升计量测量的准确度的方法、计量模块及目标设计。方法提供对多个测量处方及设置的灵活处置且使得能够使所述多个测量处方及设置与指示其与谐振区域及平坦区域的关系的图谱特征相关。单独地或以组合方式采用对处方的群集化、自身一致性测试、对经汇总测量的共同处理、噪声降低、群集分析、对具有偏斜单元的图谱及目标的详细分析，以提供测量准确度的累积提升。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
