用于检查涂覆表面的放气方法
- 专利权人:
- CV控股有限责任公司
- 发明人:
- T·E·费斯克,J·弗古森,J·R·弗里德曼
- 申请号：
- CN201080029201.4
- 公开号：
- CN102460131A
- 申请日:
- 2010.05.12
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要：
- 在此提供了用于检查涂覆工艺的产品的一种方法。其中，测量了至少一种挥发性物种从该涂覆表面到与该涂覆表面邻近的气体空间中的释放并且将该结果与对于在相同试验条件下测量的至少一个参考对象的结果进行比较。从而可以确定该涂层的存在或缺乏、和/或该涂层的物理和/或化学特性。该方法对于检查任何涂覆的物品(例如容器)是有用的。还披露了它的在由有机硅前体制成的PECVD涂层尤其是阻挡涂层的检查方面的应用。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
