PECVD涂层的检查方法
- 专利权人:
- SIO2医药产品公司
- 发明人:
- J·T·费尔特斯,T·E·费斯克,R·S·阿伯拉姆斯,J·弗古森,J·R·弗里德曼,R·J·潘格伯恩,P·J·萨高纳,C·维卡特
- 申请号：
- CN201380024057.9
- 公开号：
- CN104619367A
- 申请日:
- 2013.05.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 提供了一种用于检查涂覆过程的产品的方法。在某些实施例中，测量了至少一种挥发性物种从该涂覆表面到与该涂覆表面邻近的气体空间中的释放并将该结果与对于在相同试验条件下测量的至少一个参比物体的结果相比较。还披露了微量天平称量方法来检测并区分PECVD涂层。因此，可以确定该涂层的存在或不存在和/或该涂层的物理和/或化学特性。该方法对于检查任何涂覆的物品(例如容器)是有用的。还披露了它在由有机硅前体制成的PECVD涂层(尤其是阻挡涂层)的检查方面的应用。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
